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硅片清洗机概述:该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择,清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗(HF)、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平,但价格、售后服务、备品备件